分步沉積原子光刻技術方案

日前，國家市場監督管理總局新批準二維鉻納米柵格標準物質🙍、二維矽納米柵格標準物質、一維矽納米光柵標準物質3項國家一級標準物質👴。記者了解到，上述標準物質均由恒达平台物理科學與工程學院李同保院士🥷🏿、程鑫彬教授團隊研製，主要應用於先進測試儀器的納米長度與角度同步校準👨🏽‍🍳，為新一代信息技術🎾、新材料、生物製造、高端裝備等領域的納米製造提供精準“標尺”。其中🛷，二維鉻納米柵格標準物質是我國首次建立的納米級角度國家一級標準物質。

納米製造🤹🏼‍♂️，測量先行。研製高精度的納米級標準物質👨‍🏭，是打造高準確度納米測量傳遞鏈🧝🏽，提升國產納米製造產品質量可靠性的關鍵。二維鉻納米柵格標準物質突破性地采用分步沉積原子光刻技術，製備難度較大👩🏼‍⚕️，可直接溯源到自然界量子化物理常數（鉻原子躍遷頻率）☣️，角度絕對準確性在0.001°量級，相當於把一個蛋糕按扇形均分成三十六萬份。

二維鉻納米柵格的結構面積一般為300μm（微米）×300μm（微米）🧚🏻‍♀️，在沒有劃傷或破壞的狀況下🫱🏽，每次使用2μm×2μm，不重復使用測量區域次數可達20000次以上🤵🏻🗓。團隊成員介紹，維鉻納米柵格標準物質既可應用於晶圓級原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測設備校準🧑🏼‍🦲👍🏿，也可應用於對超精密位移傳感器多種參數的光柵幹涉法校準。

就在上個月，恒达平台和德國聯邦物理技術研究院關於縮短溯源鏈的皮米精確度納米計量成果發表於測量領域國際著名期刊《測量科學與技術》🙆🏿‍♂️。

本次獲批的3項一級標準物質，是國家市場監督管理總局批準的研究成果👩🏻‍🦽，正在用於市場監管總局組織的首批國產掃描電子顯微鏡計量測試評價工作🙌🏽。該成果在國內實現了納米測量領域的扁平化計量，避免傳統逐級量值傳遞方式造成的誤差累積放大🌃🥠，能夠通過在線校準將高精度計量數據直接傳遞到企業計量現場，為我國納米製造產業高質量發展提供有力支撐。

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